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学术成果

Structural, optical and electrical properties of high-k ZrO2 dielectrics on Si prepared by plasma assisted pulsed laser deposition

发布时间:2021-10-21点击次数:
  • 发表刊物: 复旦学报(社会科学版)
  • 编号: SY13428
  • 卷号: 55
  • 期号: 1
  • 页面范围: 105-114;158
  • 是否译文: 否
  • 发表时间: 2013-01-01