Structure Fabrication on Silicon at Atomic and Close-To-Atomic Scale Using Atomic Force Microscopy: Implications for Nanopatterning and Nanodevice Fabrication
发布时间：2023-12-15
点击次数：
- 发表刊物：
- Micromachines
- 编号：
- A110801088
- 卷号：
- 13
- 期号：
- 4
- 页面范围：
- 524 (14 pp.)
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2022-01-01