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Combining double patterning with self-assembled block copolymer lamellae to fabricate 10.5 nm full-pitch line/space patterns

发布时间：2021-06-03点击次数：

发表刊物： JOURNAL OF APPLIED MECHANICS-TRANSACTIONS OF THE ASME
编号： SY131503
卷号： 85
期号： 4
是否译文： 否
发表时间： 2018-01-01

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