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学术成果

Structural, optical and electrical properties of high-k ZrO2 dielectrics on Si prepared by plasma assisted pulsed laser deposition

发布时间:2021-12-02点击次数:
  • 发表刊物: THIN SOLID FILMS
  • 编号: SY102320
  • 卷号: 520
  • 期号: 20
  • 页面范围: 6361-6367
  • 是否译文: 否
  • 发表时间: 2012-01-01