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基于硅衬底的硅锗合金微盘的制备方法

发布时间：2024-01-11
点击次数：

专利名称：
基于硅衬底的硅锗合金微盘的制备方法
专利类型：
发明
授权号：
F20189521
是否职务专利：
否
授权日期：
2021-12-28

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