孙煜，复旦大学智能机器人与先进制造创新学院 青年副研究员，硕士生导师，主要从事半导体装备超精密系统动力学与振动控制研究。本科、博士、博后均毕业于同济大学，获同济大学工学博士学位，获评为同济大学优秀博士论文、上海市优秀毕业生、上海市“超级博士后”。主持国家自然科学基金原创探索专项项目、青年科学基金项目、国家重点研发计划课题、雄安新区科技创新专项项目、上海市青年英才“扬帆计划”项目及企业研发等多项科研项目。在国内外期刊、会议发表论文60余篇，获中国授权发明专利10余项，担任中国机械工程协会半导体装备分会第一届委员，Applied Science、《动力学与控制学报...