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孙煜
( 青年副研究员 硕士生导师 )
教师拼音名称：Sun Yu
所在单位：智能机器人研究院
学历：博士研究生
办公地点：上海市宝山区长江路43号
性别：男
学位：博士学位
在职信息：在职
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学术成果
学术成果
半导体装备系统动力学与控制专刊序
发布时间：2025-09-22
点击次数：
发表刊物：
动力学与控制学报
编号：
A2502204168
卷号：
22
期号：
12
页面范围：
1-4
是否译文：
否
发表时间：
2024-01-01
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