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严昌浩
( 教授 博士生导师 )
教师拼音名称:Yan Changhao
所在单位:集成电路与微纳电子创新学院
学历:研究生毕业
办公地点:上海浦东新区张衡路825号(复旦大学张江校区)微电子楼207
性别:男
学位:博士学位
在职信息:在职
主要任职:科研人员
其他联系方式组件组件异常,错误标识码Hr46r, 请查看错误日志
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学术成果
学术成果
An Efficient Algorithm for Stencil Planning and Optimization in E-Beam Lithography
发布时间:2021-06-03
点击次数:
发表刊物:
2017 22ND ASIA AND SOUTH PACIFIC DESIGN AUTOMATION CONFERENCE (ASP-DAC)
编号:
SR646
页面范围:
366-371
是否译文:
否
发表时间:
2017-01-01
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