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严昌浩
( 教授 博士生导师 )
教师拼音名称：Yan Changhao
所在单位：集成电路与微纳电子创新学院
学历：研究生毕业
办公地点：上海浦东新区张衡路825号（复旦大学张江校区）微电子楼207
性别：男
学位：博士学位
在职信息：在职
主要任职：科研人员
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学术成果
学术成果
Layout decomposition co-optimization for hybrid e-beam and multiple patterning lithography
发布时间：2021-06-07
点击次数：
发表刊物：
20TH ASIA AND SOUTH PACIFIC DESIGN AUTOMATION CONFERENCE, ASP-DAC 2015
编号：
SY123982
页面范围：
652-657
是否译文：
否
发表时间：
2015-01-01
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