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学术成果

纳米集成电路互连线建模和光刻仿真中的大规模并行计算方法

发布时间：2022-01-06点击次数：

发表刊物： 中国科学. 信息科学
编号： SY17540
卷号： 46
期号： 10
页面范围： 1372-1391
是否译文： 否
发表时间： 2016-01-01