教授
  • 所在单位:微电子学院
  • 学历:研究生毕业
  • 性别:
  • 学位:博士学位
  • 职称:教授
  • 在职信息:在职
  • 学科:微电子学与固体电子学
论文成果
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High-quality Ru thin film grown on TaN by plasma enhanced atomic layer deposition(PEALD)
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  • 发表刊物:Advanced Metallization Conference (Amc)
  • 论文编号:SY14330
  • 页面范围:255-262
  • 是否译文:
  • 发表时间:2009-01-01
  • 发表时间:2009-01-01