教授
  • 所在单位:微电子学院
  • 学历:研究生毕业
  • 性别:
  • 学位:博士学位
  • 职称:教授
  • 在职信息:在职
  • 学科:微电子学与固体电子学
论文成果
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Ru thin film grown on TaN by plasma enhanced atomic layer deposition
  • 点击次数:
  • 发表刊物:Thin Solid Films
  • 论文编号:SY102286
  • 卷号:517
  • 期号:16
  • 页面范围:4689-4693
  • 是否译文:
  • 发表时间:2009-01-01
  • 发表时间:2009-01-01