教授
  • 所在单位:微电子学院
  • 学历:研究生毕业
  • 性别:
  • 学位:博士学位
  • 职称:教授
  • 在职信息:在职
  • 学科:微电子学与固体电子学
论文成果
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Comprehensive study of Ga activation in Si, SiGe and Ge with 5 × 10-10Ω·cm2contact resistivity achieved on Ga doped Ge using nanosecond laser activation
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  • 发表刊物:TECHNICAL DIGEST - INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING, IEDM
  • 编号:SY126310
  • 页面范围:22.4.1-22.4.4
  • 是否译文:
  • 发表时间:2018-01-01
  • 发表时间:2018-01-01