• 所在单位:微电子学院
  • 学历:研究生毕业
  • 性别:
  • 学位:博士学位
  • 职称:教授
  • 在职信息:在职
论文成果
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Oxygen Gettering Cap to Scavenge Parasitic Oxide Interlayer in TiSi Contacts
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  • 发表刊物:IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS
  • 论文编号:SY127277
  • 卷号:40
  • 期号:11
  • 页面范围:1712-1715
  • 是否译文:
  • 发表时间:2019-01-01
  • 发表时间:2019-01-01