蒋玉龙中文主页--论文成果

教授

所在单位：集成电路与微纳电子创新学院
学历：研究生毕业
性别：男
学位：博士学位
职称：教授
在职信息：在职
学科：微电子学与固体电子学

论文成果

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Oxygen Gettering Cap to Scavenge Parasitic Oxide Interlayer in TiSi Contacts

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发表刊物：IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS
编号：SY127277
卷号：40
期号：11
页面范围：1712-1715
是否译文：否
发表时间：2019-01-01
发表时间：2019-01-01

上一条： Optimization of Ni(Pt)/Si-cap/SiGe Silicidation for pMOS Source/Drain Contact

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