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  • 学科：微电子学与固体电子学
论文成果
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Oxygen Gettering Cap to Scavenge Parasitic Oxide Interlayer in TiSi Contacts
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  • 发表刊物：IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS
  • 编号：SY127277
  • 卷号：40
  • 期号：11
  • 页面范围：1712-1715
  • 是否译文：否
  • 发表时间：2019-01-01
  • 发表时间：2019-01-01
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