• 学科:微电子学与固体电子学
论文成果
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Sub-10-9Ω·cm2contact resistivity on p-SiGe achieved by Ga doping and nanosecond laser activation
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  • 发表刊物:DIGEST OF TECHNICAL PAPERS - SYMPOSIUM ON VLSI TECHNOLOGY
  • 编号:SY156830
  • 页面范围:T214-T215
  • 是否译文:否
  • 发表时间:2017-01-01
  • 发表时间:2017-01-01