张祥朝

获奖荣誉

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中国光学工程学会科技进步奖

发布时间:2023-10-13
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成果名称:
光刻机方镜制造
成果形式:
新技术、新工艺
获奖等级:
二等奖
奖励类别:
科技进步奖