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获奖荣誉

中国光学工程学会科技进步奖

发布时间:2023-10-13点击次数:
  • 成果名称: 光刻机方镜制造
  • 成果形式: 新技术、新工艺
  • 获奖等级: 二等奖
  • 奖励类别: 科技进步奖
  • 获奖日期: 2023-08-03