English 复旦大学  
更多 

学术成果

Precision enhancement of three-dimensional displacement tracing for nano-fabrication based on low coherence interferometry

发布时间:2021-12-09点击次数:
  • 发表刊物: Optics Express
  • 论文编号: SY145599
  • 卷号: 27
  • 期号: 20
  • 页面范围: 28324-28336
  • 是否译文:
  • 发表时间: 2019-01-01