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  • 学科：微电子学与固体电子学
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Investigation of Ni(Pt)/Si-cap/SiGe Solid Phase Reaction
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  • 发表刊物：2014 INTERNATIONAL WORKSHOP ON JUNCTION TECHNOLOGY (IWJT)
  • 编号：SR3272
  • 页面范围：206-209
  • 是否译文：否
  • 发表时间：2014-01-01
  • 发表时间：2014-01-01
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