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  • 学科：微电子学与固体电子学
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Germanium surface passivation and atomic layer deposition of high-k dielectrics-a tutorial review on Ge-based MOS capacitors
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  • 发表刊物：SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY
  • 编号：SY117386
  • 卷号：27
  • 期号：7
  • 是否译文：否
  • 发表时间：2012-01-01
  • 发表时间：2012-01-01
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