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  • 学科：微电子学与固体电子学
论文成果
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Cu adhesion on tantalum and ruthenium surface: Density functional theory study
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  • 发表刊物：JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
  • 编号：SY114220
  • 卷号：107
  • 期号：10
  • 是否译文：否
  • 发表时间：2010-01-01
  • 发表时间：2010-01-01
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