Work function modulation for TiN/Ta/TiN metal gate electrode
- 点击次数：
- 发表刊物：ICSICT-2010 - 2010 10TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY, PROCEEDINGS
- 编号：SY125774
- 页面范围：938-940
- 是否译文：否
- 发表时间：2010-01-01
- 发表时间：2010-01-01