Work function modulation for TiN/Ta/TiN metal gate electrode
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- 发表刊物：Icsict-2010 - 2010 10Th IEEE International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology, Proceedings
- 论文编号：SY125774
- 页面范围：938-940
- 是否译文：否
- 发表时间：2010-01-01
- 发表时间：2010-01-01
