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教授
所在单位：
集成电路与微纳电子创新学院
学历：
研究生毕业
性别：
男
学位：
博士学位
职称：
教授
在职信息：
在职
学科：
微电子学与固体电子学
论文成果
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论文成果
>> $Investigation of ...
Investigation of Co/TaN bilayer as Cu diffusion barrier
点击次数：
发表刊物：
ICSICT-2010 - 2010 10TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY, PROCEEDINGS
编号：
SY125782
页面范围：
1045-1047
是否译文：
否
发表时间：
2010-01-01
发表时间：
2010-01-01
上一条：
Electrical Fatigue in Ferroelectric P(VDF-TrFE) Copolymer Films