• 所在单位:微电子学院
  • 学历:研究生毕业
  • 性别:
  • 学位:博士学位
  • 职称:教授
  • 在职信息:在职
论文成果
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Thermal Stability Improvement Induced by Laser Annealing for 50-angstrom Ni(Pt) Film Silicidation
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  • 发表刊物:IEEE Transactions on Electron Devices
  • 论文编号:YF7711
  • 卷号:63
  • 期号:2
  • 页面范围:751-754
  • 是否译文:
  • 发表时间:2016-01-01
  • 发表时间:2016-01-01