张祥朝
( 研究员
博士生导师
)
- 教师英文名称：Xiangchao Peter Zhang
- 教师拼音名称：Zhang Xiangchao
- 所在单位：未来信息创新学院
- 职务：工程中心副主任，教研室副主任，教学团队负责人
- 学历：研究生毕业
- 办公地点：复旦大学江湾校区交叉二号楼C3013
- 性别：男
- 学位：博士学位
- 在职信息：在职
- 主要任职：教师
- 邮编：200438
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- 传真：021-31242566
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- 通讯/办公地址：上海市杨浦区淞沪路2205号交叉二号楼C3013
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- 邮箱：zxchao@fudan.edu.cn
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Balancing the Efficiency and Sensitivity of Defect Inspection of Non-Patterned Wafers with TDI-Based Dark-Field Scattering Microscopy
发布时间：2024-12-13点击次数：
- 发表刊物： SENSORS
- 编号： A24081105037
- 卷号： 24
- 期号： 5
- 是否译文： 否
- 发表时间： 2024-01-01
