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熊诗圣
( 研究员 博士生导师 )
教师拼音名称：Xiong Shisheng
所在单位：信息科学与工程学院
学历：研究生毕业
学位：博士学位
在职信息：在职
毕业院校：美国新墨西哥大学
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论文成果
论文成果
Sub-10 nm silicon FinFET devices on SOI substrate made by block copolymer lithography
发布时间：2021-10-18
点击次数：
发表刊物：
Soft Matter
编号：
SY113378
卷号：
15
期号：
48
页面范围：
9991-9996
是否译文：
否
发表时间：
2019-01-01
下一条：
Combining double patterning with self-assembled block copolymer lamellae to fabricate 10.5 nm full-pitch line/space patterns
