English
复旦大学
首页
科学研究
研究领域
论文成果
专利
著作成果
科研项目
教学研究
教学资源
授课信息
教学成果
获奖信息
招生信息
学生信息
我的相册
社会服务
学术组织
社会职务
其他
教师博客
更多
熊诗圣
( 研究员 博士生导师 )
教师拼音名称：Xiong Shisheng
所在单位：信息科学与工程学院
学历：研究生毕业
学位：博士学位
在职信息：在职
毕业院校：美国新墨西哥大学
中文主页
>>
科学研究
>>
论文成果
论文成果
Combining double patterning with self-assembled block copolymer lamellae to fabricate 10.5 nm full-pitch line/space patterns
发布时间：2021-11-22
点击次数：
发表刊物：
Nanotechnology
论文编号：
SY117677
卷号：
30
期号：
45
是否译文：
否
发表时间：
2019-01-01
上一条：
Sub-10 nm silicon FinFET devices on SOI substrate made by block copolymer lithography
下一条：
The Solvent Distribution Effect on the Self-Assembly of Symmetric Triblock Copolymers during Solvent Vapor Annealing
