| 仪器名 | 厂商 | 型号 | 重要参数 |
| 微纳制造 | |||
| 光刻机 | TuoTuo Tech | TuoTuo Tech | TuoTuo Tech |
| 原子束沉积（ALD） | MNT | S100-24S1 | 可镀 |
| 电子束蒸镀 | 成都兴南仪器真空设备 | XNY-16BA | 真空度：，可镀： |
| 金属热蒸发镀膜系统 | 安徽嘉硕真空科技 | JSD500 | 可镀 |
| 管式炉 | 合肥科晶 | OTF-1200X | |
| 磁控溅射仪 | 沈科仪 | TRP450 | 可镀 |
| 多功能镀膜系统 | 浙江赛微科光电科技 | SQC-310C |
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| 激光刻蚀机 | 武汉君为科技 | ||
| 等离子体清洗机 | 东信高科 | 真空度：，气体： | |
| 紫外臭氧 | Novascan | PSD Pro | |
| 退火仪 | Advance Riko | Mila-5000Z | 温度范围 |
| 二维材料 | |||
| 转移台 | 迈塔光电 | E1 | |
| 微纳表征 | |||
| 光学显微镜 | Olympus | BX53M | BX53M |
| 紫外可见分光光度计 | 德国Spectrum | SP-1920 | |
| 荧光光谱仪 | 日立 | F-4600 | |
| 电学表征 | |||
| 探针台（真空） | Lake Shore | ||
| 半导体参数分析仪 | Keysight | B1500A | 配有脉冲模块WGFMU |
| 铁电分析仪 | Aixacct systems | ||
| 柔性电子测试仪 | Prtronic | FT2000 | |
| 四探针测试仪 | 广州四探针科技 | RTS-8 | |
| 辅助设备 | |||
| 手套箱 | 旋蒸仪 | 旋涂仪 | 恒温加热台 |
| 可编程控温热台 | 天平 | 真空干燥箱 | |