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复旦大学

朱凯晨青年研究员

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仪器名	厂商	型号	重要参数
微纳制造
光刻机	TuoTuo Tech	TuoTuo Tech	TuoTuo Tech
原子束沉积（ALD）	MNT	S100-24S1	可镀
电子束蒸镀	成都兴南仪器真空设备	XNY-16BA	真空度：，可镀：
金属热蒸发镀膜系统	安徽嘉硕真空科技	JSD500	可镀
管式炉	合肥科晶	OTF-1200X
磁控溅射仪	沈科仪	TRP450	可镀
多功能镀膜系统	浙江赛微科光电科技	SQC-310C
激光刻蚀机	武汉君为科技
等离子体清洗机	东信高科		真空度：，气体：
紫外臭氧	Novascan	PSD Pro
退火仪	Advance Riko	Mila-5000Z	温度范围
二维材料
转移台	迈塔光电	E1
微纳表征
光学显微镜	Olympus	BX53M	BX53M
紫外可见分光光度计	德国Spectrum	SP-1920
荧光光谱仪	日立	F-4600
电学表征
探针台（真空）	Lake Shore
半导体参数分析仪	Keysight	B1500A	配有脉冲模块WGFMU
铁电分析仪	Aixacct systems
柔性电子测试仪	Prtronic	FT2000
四探针测试仪	广州四探针科技	RTS-8
辅助设备
手套箱	旋蒸仪	旋涂仪	恒温加热台
可编程控温热台	天平	真空干燥箱