- 发表刊物： 2018 14TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY, ICSICT 2018 - PROCEEDINGS
- 编号： YF1384
- 页面范围： 21-23
- 是否译文： 否
- 发表时间： 2018-01-01
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论文成果
Sub-10 nm silicon FinFET devices on SOI substrate made by block copolymer lithography
发布时间：2021-12-09点击次数：
