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Modeling and analysis of sub-aperture tool influence functions for polishing curved surfaces

发布时间：2021-05-31点击次数：

发表刊物： Precision Engineering-Journal of the International Societies For Precision Engineering and Nanotechnology
论文编号： SY100561
卷号： 51
页面范围： 415-425
是否译文： 否
发表时间： 2018-01-01

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